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电光检测法用于检测超薄层异质外延材料均匀性的研究
作者：苏小元
出版社：浙江大学
馆藏单位：浙江大学
出版时间：1995-03
资源类型：当代学位论文
标签：浙江大学;硕士学位;论文;电光;检测法;用于;检测;超薄;浙江;九十年代;专著 添加标签
说明： 超薄层异质结外延材料作为高速电子迁移率晶体管材料是现代科技发展的需求，同时对这种器件生成质量的检测方法的要求也越来越高，连续波电光检测法（CWEOP）正是适合这种需求的无损伤、高精度的新颖有力的检测手段。
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