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掺氧半绝缘多晶体硅(SIPOS)的制备、性质及钝化作用
作者：侯宁
出版社：西安交通大学
馆藏单位：西安交通大学
出版时间：1994-06-22
资源类型：当代学位论文
标签：半绝缘;多晶体;制备;性质;钝化;作用;西安;九十年代;专著 添加标签
主题：半绝缘多晶硅；钝化；0484.1
说明： Semi-insulating polycrystalline-silicon (SIPOS) films that were used as a replacement of silicon dioxide passivation layer have been preparated by low ...展开
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