声光调制激光外差干涉测量理论和关键技术的研究
作者:赵斌
出版社:华中科技大学
馆藏单位:华中科技大学
出版时间:1995-07-05
资源类型:当代学位论文
标签:声光调制;激光;外差;干涉;测量;理论和;关键技术;研究;九十年代;专著 添加标签
主题:外差干涉;共光路;可逆条纹计数;相位测量;衍射
说明: 本文作者的主要工作,是在DRNI量仪(磁盘表面粗糙度非接触测量仪)研究成果的基础上,进一步研究并解决了声光调制激光外差干涉测量中的若干关键技术和理论问题,为纳米计量、纳米科学与工程等方面更广泛深入的研究和可靠的应用作技术准备
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