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多晶硅薄膜的晶粒及电学、光学性能研究
作者：林海
出版社：王缙
馆藏单位：华中科技大学
出版时间：1984-07
资源类型：当代学位论文
标签：多晶硅;薄膜;晶粒;电学;光学性能;研究;八十年代;专著 添加标签
说明： 本文在实验的基础上研究了LPCVD多晶硅薄膜的晶粒在不同的高温条件下(扩散掺杂、高温氮气退火和氧化)的增大以及晶粒的增大对于膜层电学性质(载流子浓度、电阴率和霍耳迁移率)、光学性质(光学吸收系数)的影响.
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